洁净技术是一门新兴的技术,在科学实验和工业生产活动中,产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性要具有一个爱控尘埃粒子污染的生产环境,早在20世纪20年代美国航空业的陀螺仪制造 过程最先提出了生产环境的无尘净化要求,为了消除空气中的尘埃粒子对航